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  • 全新G-3000系列200mm/300mm全自动清洗刻蚀设备
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    • 设备用途:
    • 用于生产制备环节的产品刻蚀清洗,确保产品的工艺洁净度满足工艺指标,全过程为全自动运行;
    • 辅助条件:
    • 超声、兆声、循环、冷却、振荡、旋片、鼓泡、干燥等
    • 面对行业:
    • 半导体、先进封装、MEMS等,依据客户的需求,提供专业的定制设备
    • 设备特点:
    • ★ 软件和硬件的模块化设计可以支持在工艺变动时增减更换模块,减少设备投资风险
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    • ★ 全电脑控制系统可提供无限的存储空间,实时记录生产数据,提供多种数据分析功能
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    • ★ 支持EFEM, SMIF自动传输,软件具有GEM/SECSII接口,提供EAP功能
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    • ★ 发明专利的配液系统,实现1%的配液精度,更改浓度配比可直接在软件里输入所需的体积
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    • ★ 改进的夹持机构能防止急停时片篮掉落
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    • ★ 德国Beckhoff伺服控制系统增强了抗电磁干扰的能力
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    • ★ 采用以太网控制自动化技术简化了大量的线缆及传感器的使用,提升设备的可靠性
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    • ★ 软件支持同时运行不同的菜单,保证产能最大化
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    • ★ 工艺需要时,传递花篮时间(槽内到另一槽内)可以缩短至4秒
    • 可选配置:
    • ▲浓度监测系统 ▲化学品集中供应系统 ▲CO2灭火系统 ▲废液回收系统