- About SPMC
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硅密(常州)电子设备有限公司(SPMC),2004年设立在有着悠久的人文历史及风景秀丽的龙城常州。公司坐落于新北区电子科技产业园内,占地25亩,建有2000㎡现代化的专业生产制造车间,为半导体集成电路、MEMS、先进封装、半导体材料、光伏以及LED行业客户提供湿法清洗及刻蚀方面的技术解决方案。
我们及合作伙伴拥有超过30年的行业经验,提供优秀的湿法设备的设计、制造、维护和技术支持服务。
用心设计,用心服务,满足客户的期待,为客户提供高品质的产品。
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硅密(常州)电子设备有限公司
常州新北区电子产业园新科路21号
工作时间
周一~周五 8:30-17:30
电话:(0519) 85486173
传真:(0519) 85486203
- 最新/明星产品
- 全新G-3000系列200mm/300mm全自动清洗刻蚀设备
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- 设备用途:
- 用于生产制备环节的产品刻蚀清洗,确保产品的工艺洁净度满足工艺指标,全过程为全自动运行;
- 辅助条件:
- 超声、兆声、循环、冷却、振荡、旋片、鼓泡、干燥等
- 面对行业:
- 半导体、先进封装、MEMS等,依据客户的需求,提供专业的定制设备
- 设备特点:
- ★ 软件和硬件的模块化设计可以支持在工艺变动时增减更换模块,减少设备投资风险
- ★ 全电脑控制系统可提供无限的存储空间,实时记录生产数据,提供多种数据分析功能
- ★ 支持EFEM, SMIF自动传输,软件具有GEM/SECSII接口,提供EAP功能
- ★ 发明专利的配液系统,实现1%的配液精度,更改浓度配比可直接在软件里输入所需的体积
- ★ 改进的夹持机构能防止急停时片篮掉落
- ★ 德国Beckhoff伺服控制系统增强了抗电磁干扰的能力
- ★ 采用以太网控制自动化技术简化了大量的线缆及传感器的使用,提升设备的可靠性
- ★ 软件支持同时运行不同的菜单,保证产能最大化
- ★ 工艺需要时,传递花篮时间(槽内到另一槽内)可以缩短至4秒
- 可选配置:
- ▲浓度监测系统 ▲化学品集中供应系统 ▲CO2灭火系统 ▲废液回收系统 ▲FOUP自动开盖与OHT系统