面对LED蓝宝石晶片侧边腐蚀及图形化衬底工艺的要求，SPMC与美国IMTEC 公司共同合作开发，向中国市场推出技术先进、工艺精湛的湿法高温刻蚀设备。该设备的优势体现在以下诸多点：

. 全自动的封闭系统，多重硬件和软件保护，可视化UI控制介面；
. 高产能的保证：配置1：224,000WPM(2"); 配置2：336,000WPM(2")；
. 极佳的兼容性：囊括了2"、4"、6"蓝宝石晶片的制备，一次投资可适用不同产品的生产；
. 精准、稳定的工艺控制：
温度精度范围：+/-2℃； 刻蚀的均匀性：+/-5%以内；
. 有温度的动态监测和自动配酸、自动补液功能；
. 最经济的化学品消耗量：化学品寿命长，2800片/换酸周期；
. 最大化的设备运行可靠及安全性：
MBTF>1000hours; MTTR<4hours; Up time>95%.