该清洗设备是湿法处理设备，能够处理ACT 915、IPA与DIW清洗的过程.设备外壳采用304不锈钢拉丝板，槽体采用316L电解抛光不锈钢。快排槽支持底部注水, 顶部喷淋, 快排。

系统的硬件由PLC来控制，具体是从状态传感器得到一个输入，由此来控制和监视系统的一些功能。操作者通过彩色的触摸屏来操作。软件在输入密码的状态下是完全受控制的。包括机台的组成和每个槽的监控，以及菜单的多样编辑都受控。

自动的石英坩埚清洗机是利用湿法的化学工艺来清洗石英部件。在清洗的过程中，HF附带DI水及加压氮气被做为蚀刻剂，石英坩埚的移动是通过PLC控制多向的自动化机械手臂来完成系统的操作。

设备主体结构由清洗机箱体、漏盘、上下喷淋系统、活动托盘、储酸系统、抽风系统、酸液循环系统、石英器皿腐蚀/清洗槽、热风烘干系统、管路部分、PLC+触摸屏电控部分。

该设备主体上下分为三部分：上层电器控制系统、后部抽风系统，中层工作区，下层为管道安装维修区、储酸箱、DIW增压泵、缓冲槽、酸液循环泵等。

工艺流程：

首先将石英坩埚放入清洗机立式活动台，检查水、电、气正常，活动门封闭，然后启动按钮→进入酸洗程序→进入DIW洗程序→冷风预吹干→热风吹干→冷风预冷却→合格报警→人工用小车将石英坩埚取出清洗机，完成整个清洗工作。